在滿足有頂級光源的前提下,還要有極致的機械精度。光刻機裡面有著兩個同步運動的工作檯,一個是用來載膠片的,另一個是用來載底片的,兩者需要嚴格的同步,誤差得在2納米以下,兩個工作檯還得要有跟飛彈發射一樣的加速度。而且對外界環境也有著很嚴格的要求,濕度溫度和壓力的變化都會影響到工作過程的精度。溫度要控制在千分之五,這就得要更精準的溫度傳感器。世界上目前最好的光刻機是SMEE,它包含13個分系統,3萬多個機械件還有200多個傳感器,所有的零部件不能有任何一個出問題,否則就會有影響。
content farm copy,數據方面當參考下算
部機精準度講緊要個位數nm
你即使有技術有設計圖有人才
冇光刻機廠幫你實地調較,你都係做唔到晶片