（巨大化光刻機）中國新EUV光刻機方案（SSMB-EUV）

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2023-09-13 10:00:23
清華大學主導的1千瓦級SSMB-EUV光源，直接把光刻機光源變成基礎設施--同步輻射光源。直接把光源變成類似工業園中的電力、蒸汽、純水等可購買原料。比如：深圳產業光源系統規劃了EUV光刻線站和EUV檢測線站等合計四條光束線，六個實驗站。

這條技術路線如果成功，可以秒殺上面兩條路線。光源外置、極大簡化的光路直接把EUV光刻機變成體積大，但是成本相對較低的批量產品。且更匹配中國極高的基礎設施建設能力

2023-09-13 10:20:39
輸粒糖
2023-09-13 10:25:35
咁勁就一早做左世界強國喇
2023-09-13 10:30:20
雄安起緊成間廠咁大光刻機
2023-09-13 11:51:14
2023-09-13 12:54:42
如果畀佢成功，係咪要多謝美國幫手推動
2023-09-13 13:14:17
鏡片點攪？越大塊越難整
2023-09-13 13:19:22
強烈讉責 輻射
2023-09-13 13:31:59
無人答到你
2023-09-13 13:33:51
2023-09-13 15:49:20
2023-09-13 15:51:54
唔成功咪燒錢囉 so?
橫掂都燒左好多出去 物成果都無

而家有方案有個可能 唔做?
2023-09-13 15:52:39
鏡片難整D 定光刻機難整D?
2023-09-14 03:48:57
無論鏡片 定 光刻機 都難整
缺一不可

EUV 係極不穩定的野，會同空氣起反應
所以EUV機內要真空
仲有淨係反射可以無幾十%
所以個鏡面要極反光

ASML為左減少損耗有咁少len用咁少，
光源有咁近就咁近
以家中國話要將EUV光源整係外面
2023-09-14 06:10:50
成功先講啦 成日未整到就吹奏 搞緊人地10年前科技都係度牙刷刷
2023-09-14 13:24:10
真係學到野
2023-09-14 22:33:49
仲有呢個諗法都唔係中國原創
日本2015已經有人提出
https://euvlitho.com/2015/P42.pdf

應該係計過成本攪唔掂先唔攪
（你估淨係出EUV, 其他輻射唔知點攪）
2023-09-15 13:17:32
同室溫常態超導體一樣整到就贏 理得你用咩方法
只係成功機率奇低
2023-09-15 13:20:09
當然要啦, 清華大學係用咩錢起?
2023-09-15 13:22:01
咁大部又500年一遇大雨咪死？
2023-09-15 13:29:51
光學系統先最難，asml 收購左蔡司精密光學先搞得掂

蔡司成百年經驗累積，當中鏡片coating 既chemical, 咁容易比你班蕃薯蛋散炒到
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